Tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulations for the elucidation of chemical reaction dynamics in SiC etching with SF6/O2 plasma

Hiroshi Ito, Takuya Kuwahara, Kentaro Kawaguchi, Yuji Higuchi, Nobuki Ozawa, Momoji Kubo

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

13 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulations for the elucidation of chemical reaction dynamics in SiC etching with SF6/O2 plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemistry

Biochemistry, Genetics and Molecular Biology