Surface Activated Bonding of ALD Al2O3films

Junsha Wang, Ryo Takigawa, Tadatomo Suga

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

1 被引用数 (Scopus)

抄録

Plasma enhanced ALD Al2O3 films were successfully bonded by surface activated bonding. The increase of O2 plasma power for deposition promoted the crystallinity of Al2O3 slightly, and the additional H2 plasma post-treatment improved the hydrophilicity of the film dramatically. The bond strength in humid air was not affected strongly by film deposition parameters, while that in dry N2 was improved by both methods. Water stress corrosion has a big effect on the debonding process resulting in higher bond strength in dry N2. Under the same debonding atmosphere, the bond strength of amorphous Al2O3 films was slightly lower than that of sapphire bonding.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2022 IEEE CPMT Symposium Japan, ICSJ 2022
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ページ57-60
ページ数4
ISBN(電子版)9781665486132
DOI
出版ステータス出版済み - 2022
イベント11th IEEE CPMT Symposium Japan, ICSJ 2022 - Kyoto, 日本
継続期間: 11月 9 202211月 11 2022

出版物シリーズ

名前2022 IEEE CPMT Symposium Japan, ICSJ 2022

会議

会議11th IEEE CPMT Symposium Japan, ICSJ 2022
国/地域日本
CityKyoto
Period11/9/2211/11/22

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子工学および電気工学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 器械工学
  • 原子分子物理学および光学

フィンガープリント

「Surface Activated Bonding of ALD Al2O3films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル