Stable MEMS electrostatic comb-driven scanning mirror via feedback of comb electrostatic capacitance
- Noriaki Ishikawa
- , Koji Okazaki
- , Ayumu Kudo
- , Renshi Sawada
研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿 › 会議への寄与
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(Scopus)