Sol-gel fabrication of dielectric HfO2 nano-films; formation of uniform, void-free layers and their superior electrical properties

Yoshitaka Aoki, Toyoki Kunitake, Aiko Nakao

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

85 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Sol-gel fabrication of dielectric HfO2 nano-films; formation of uniform, void-free layers and their superior electrical properties」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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