Room-temperature wafer bonding of LiNbO3 and SiO2 using a modified surface activated bonding method

Ryo Takigawa, Eiji Higurashi, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

29 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Room-temperature wafer bonding of LiNbO3 and SiO2 using a modified surface activated bonding method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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