Position-controlled growth of SiGe crystal grains on insulator by indentation-induced solid-phase crystallization (Special issue: Active-matrix flatpanel displays and devices: TFT technologies and FPD materials)

Kaoru Toko, Taizoh Sadoh, Masanobu Miyao

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

本文言語英語
ページ(範囲)03B007-1〜4
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters
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出版ステータス出版済み - 3月 2009

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