New method to obtain (001) surface-oriented polycrystalline silicon films by intensity-modulated excimer laser annealing: Molecular dynamics study

Norie Matsubara, Tomohiko Ogata, Takanori Mitani, Shinji Munetoh, Teruaki Motooka

    研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌 › 査読

    3 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「New method to obtain (001) surface-oriented polycrystalline silicon films by intensity-modulated excimer laser annealing: Molecular dynamics study」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics

    Biochemistry, Genetics and Molecular Biology