Nanoscale topography measurements with a metal nanowire AFM tip

M. Motoyama, F. B. Prinz

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

This paper describes comparison between atomic force microscope (AFM) measurements with a Si tip and a 200-nm-diameter Ni nanowire tip. A produced nanowire AFM probe successfully produced topographic images showing profiles convoluted with a tip radius of 100-200 nm. Bending stiffness of metal nanowires realizes a smaller lateral spring constant than Si and Si3N 4 tips. Inelastic deformations of nanowires occurred under excessive loads. The maximum end deflections for nanowires to break the elasticity, which beam mechanics indicates, were applicable to our observed results.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルElectrochemical Processing in ULSI and MEMS 4
出版社Electrochemical Society Inc.
ページ85-96
ページ数12
24
ISBN(電子版)9781566777667
ISBN(印刷版)9781607681168
DOI
出版ステータス出版済み - 2009
外部発表はい

出版物シリーズ

名前ECS Transactions
番号24
19
ISSN(印刷版)1938-5862
ISSN(電子版)1938-6737

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 工学一般

フィンガープリント

「Nanoscale topography measurements with a metal nanowire AFM tip」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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