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Improvement of breakdown characteristics of the gate oxynitride using N2O

  • Akihiro Ikeda
  • , Chika Fujiki
  • , Yukinori Kuroki

研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌 › 査読

フィンガープリント

「Improvement of breakdown characteristics of the gate oxynitride using N2O」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
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