Hysteresis in volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films deposited by SiH4 plasma chemical vapor deposition

Susumu Toko, Yoshihiro Torigoe, Kimitaka Keya, Takashi Kojima, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Hysteresis in volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films deposited by SiH4 plasma chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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