Growth of yttria-stabilized zirconia thin films by metallo-organic, ultrasonic spray pyrolysis

Yoshio Matsuzaki, Masakazu Hishinuma, Isamu Yasuda

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

38 被引用数 (Scopus)

抄録

Randomly and preferentially oriented thin films of yttria stabilized zirconia (YSZ) have been prepared on fused quartz substrates by ultrasonic spray pyrolysis using zirconium octylate and yttrium octylate as metallo-organic precursors at a substrate temperature of 873-1023 K. The as-deposited films composed of fine columnar grains were found to be crystalline and transparent with a cubic fluorite structure. With increasing substrate temperature the growth rate and diameter of the columnar grains increased and the crystal habit showed a preferential orientation at the (111) plane.

本文言語英語
ページ(範囲)72-76
ページ数5
ジャーナルThin Solid Films
340
1
DOI
出版ステータス出版済み - 2月 26 1999
外部発表はい

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 表面および界面
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 金属および合金
  • 材料化学

フィンガープリント

「Growth of yttria-stabilized zirconia thin films by metallo-organic, ultrasonic spray pyrolysis」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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