Growth of ultrathin epitaxial 3C-SiC films on Si(100) by pulsed supersonic free jets of CH3SiH3

Yoshifumi Ikoma, Takao Endo, Fumiya Watanabe, Teruaki Motooka

    研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

    50 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Growth of ultrathin epitaxial 3C-SiC films on Si(100) by pulsed supersonic free jets of CH3SiH3」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics

    Chemistry

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