Fabrication of Micro-Cantilever with A Silicon Probe Prepared by Anodization

K. Higa, T. Asano

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルDigest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 1998
ホスト出版物のサブタイトル1998 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
編集者Hyung Joon Yoo, Shinji Okazaki, Jinho Ahn, Ohyun Kim, Masanori Komuro
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ページ178-179
ページ数2
ISBN(電子版)4930813832, 9784930813831
DOI
出版ステータス出版済み - 1998
イベント1998 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 1998 - Kyoungju, 韓国
継続期間: 7月 13 19987月 16 1998

出版物シリーズ

名前Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 1998: 1998 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
1998-July

その他

その他1998 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 1998
国/地域韓国
CityKyoungju
Period7/13/987/16/98

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 材料科学一般
  • 核物理学および高エネルギー物理学
  • コンピュータ サイエンスの応用

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