Evolution of ferroelectric HfO2 in ultrathin region down to 3 nm

Xuan Tian, Shigehisa Shibayama, Tomonori Nishimura, Takeaki Yajima, Shinji Migita, Akira Toriumi

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

194 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Evolution of ferroelectric HfO2 in ultrathin region down to 3 nm」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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