Epitaxial silicon oxynitride layer on a 6H-SiC(0001) surface

Tetsuroh Shirasawa, Kenjiro Hayashi, Seigi Mizuno, Satoru Tanaka, Kan Nakatsuji, Fumio Komori, Hiroshi Tochihara

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

56 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Epitaxial silicon oxynitride layer on a 6H-SiC(0001) surface」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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