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受賞
Effects of spruttering due to ion irradiation on plasma anisotropic CVD of Cu
Kosuke Takenaka
, Manabu Takeshita
,
Kazunori Koga
,
Masaharu Shiratani
, Yukio Watanabe
電子デバイス工学
物性物理学
研究成果
:
書籍/レポート タイプへの寄稿
›
章
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Effects of spruttering due to ion irradiation on plasma anisotropic CVD of Cu」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Material Science
Surface
100%
Irradiation
60%
Chemical Vapor Deposition
60%
Silicon
20%
Electrical Resistivity
20%
Aluminum
20%
Copper
20%
Electromigration
20%
Metallization
20%