Effect of Mn-Based Slurries on Chemical Mechanical Polishing of SiC Substrates

Panpan Zhao, Tao Yin, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Kiyoshi Seshimo, Dongfen Ye, Jianchen Cai

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effect of Mn-Based Slurries on Chemical Mechanical Polishing of SiC Substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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