Effect of Fe impurities on the generation of process-induced microdefects in Czochralski silicon crystals

Jaroslaw Jablonski, Mina Saito, Yoshiji Miyamura, Masato Imai

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effect of Fe impurities on the generation of process-induced microdefects in Czochralski silicon crystals」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics

Biochemistry, Genetics and Molecular Biology