メインナビゲーションにスキップ 検索にスキップ メインコンテンツにスキップ

Effect of Al2O3 deposition and subsequent annealing on passivation of defects in Ge-rich SiGe-on-insulator

  • Haigui Yang
  • , Masatoshi Iyota
  • , Shogo Ikeura
  • , Dong Wang
  • , Hiroshi Nakashima

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿 › 会議への寄与

フィンガープリント

「Effect of Al2O3 deposition and subsequent annealing on passivation of defects in Ge-rich SiGe-on-insulator」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順

Material Science