Development of strained Si-SiGe-on-insulator wafers for high speed ULSI

Hiroshi Nakashima, Masanobu Miyao, Masahiko Nakamae, Tanemasa Asano

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Development of strained Si-SiGe-on-insulator wafers for high speed ULSI」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering