Crystal quality of a 6H-SiC layer grown over macrodefects by liquid-phase epitaxy: A Raman spectroscopic study

Toru Ujihara, Shinji Munetoh, Kazuhiko Kusunoki, Kazuhito Kamei, Noritaka Usami, Kozo Fujiwara, Gen Sazaki, Kazuo Nakajima

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

28 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Crystal quality of a 6H-SiC layer grown over macrodefects by liquid-phase epitaxy: A Raman spectroscopic study」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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