Codeposition on diamond film surface during reactive ion etching in SF6 and O2 plasmas

K. Teii, M. Hori, T. Goto

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Codeposition on diamond film surface during reactive ion etching in SF6 and O2 plasmas」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Material Science

Biochemistry, Genetics and Molecular Biology