Batch fabrication of force sensors for robotic surgery using optical interference

Yuki Kashimura, Noriko Tsuroka, Jumpei Arata, Yoichi Haga

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

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抄録

This paper aims to present a novel method for batch fabrication of miniature force sensors using optical interference with Microelectromechanical Systems technology. Previously, we noted that the batch fabrication of miniature force sensors was difficult because they were fabricated one by one using individual parts. Therefore, the present study proposes a new method for batch fabrication in a single batch, in which force sensors are assembled side-by-side. Furthermore, we demonstrate the performance and effectiveness of the proposed batch fabrication method to fabricate force sensors.

本文言語英語
論文番号114672
ジャーナルSensors and Actuators A: Physical
362
DOI
出版ステータス出版済み - 11月 1 2023

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 器械工学
  • 凝縮系物理学
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 金属および合金
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Batch fabrication of force sensors for robotic surgery using optical interference」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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