Al doping of 4H-SiC by laser irradiation to coated Al film and its application to junction barrier Schottky diode

Akihiro Ikeda, Rikuho Sumina, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Al doping of 4H-SiC by laser irradiation to coated Al film and its application to junction barrier Schottky diode」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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