年別の研究成果
年別の研究成果
検索結果
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1997
Improvement of buried oxide integrity in ITOX SIMOX wafers
Ando, M., Miyamura, Y., Jablonski, J., Saito, M., Kitagawa, S. & Katayama, T., 1997, p. 12-13. 2 p.研究成果: 会議への寄与タイプ › 学会誌 › 査読
1 被引用数 (Scopus) -
1996
Effect of high-temperature oxidation on the buried oxide integrity in low-dose SIMOX wafers
Saito, M., Jablonski, J., Miyamura, Y. & Katayama, T., 1996, p. 154-155. 2 p.研究成果: 会議への寄与タイプ › 学会誌 › 査読
1 被引用数 (Scopus) -
Effect of oxidizing ambient on the generation of microdefects in low-dose SIMOX wafers
Jablonski, J., Saito, M., Miyamura, Y., Katayama, T. & Nakashima, S., 1996, p. 30-31. 2 p.研究成果: 会議への寄与タイプ › 学会誌 › 査読
1 被引用数 (Scopus)