年別の研究成果
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研究成果
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2022
Atomic layer deposition of self-assembled aluminum nanoparticles using dimethylethylamine alane as precursor and trimethylaluminum as an initiator
Okasha, S. & Harada, Y., 12月 2022, In: Journal of Nanoparticle Research. 24, 12, 242.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌 › 査読
1 被引用数 (Scopus) -
2021
Atomic layer deposition of aluminum (111) thin film by dimethylethylaminealane precursor
Okasha, S., Sekine, Y., Sasaki, S. & Harada, Y., 8月 31 2021, In: Thin Solid Films. 732, 138784.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌 › 査読
Open Access2 被引用数 (Scopus)