A34 MEMSに使用されるポリシリコンの強度信頼性(A3 材料力学3)

Translated title of the contribution: A34 Strength reliability of poly-silicon for MEMS

橋爪健二, 濱田繁

Research output: Contribution to journal › Article

Translated title of the contribution	A34 Strength reliability of poly-silicon for MEMS
Original language	Japanese
Pages (from-to)	27-28
Number of pages	2
Journal	日本機械学会九州支部講演論文集
Volume	2007
Issue number	0
DOIs	https://doi.org/10.1299/jsmekyushu.2007.60.27
Publication status	Published - 2007

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TY - JOUR

T1 - A34 MEMSに使用されるポリシリコンの強度信頼性(A3 材料力学3)

AU - 橋爪, 健二

AU - 濱田, 繁

PY - 2007

Y1 - 2007

U2 - 10.1299/jsmekyushu.2007.60.27

DO - 10.1299/jsmekyushu.2007.60.27

M3 - 学術誌

VL - 2007

SP - 27

EP - 28

JO - 日本機械学会九州支部講演論文集

JF - 日本機械学会九州支部講演論文集

IS - 0

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