1005 多段階インプリントプロセスによるセラミックシート表面上への多階層微細パターニング(生産加工・工作機械1)

Translated title of the contribution: 1005 Multi-level Micro Patterning on Ceramic Surface by a Multi-step Imprint Process

Research output: Contribution to journal › Article

Translated title of the contribution	1005 Multi-level Micro Patterning on Ceramic Surface by a Multi-step Imprint Process
Original language	Japanese
Pages (from-to)	323-324
Number of pages	2
Journal	日本機械学会九州支部講演論文集
Volume	2013
Issue number	0
DOIs	https://doi.org/10.1299/jsmekyushu.2013.66.323
Publication status	Published - 2013

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TY - JOUR

T1 - 1005 多段階インプリントプロセスによるセラミックシート表面上への多階層微細パターニング(生産加工・工作機械1)

AU - 高橋, 昌史

AU - 津守, 不二夫

AU - 徐, 楊

AU - 橋本, 聖矢

AU - 姜, 賢求

AU - 長田, 稔子

AU - 三浦, 秀士

PY - 2013

Y1 - 2013

U2 - 10.1299/jsmekyushu.2013.66.323

DO - 10.1299/jsmekyushu.2013.66.323

M3 - 学術誌

SN - 2424-2780

VL - 2013

SP - 323

EP - 324

JO - 日本機械学会九州支部講演論文集

JF - 日本機械学会九州支部講演論文集

IS - 0

ER -