1005 多段階インプリントプロセスによるセラミックシート表面上への多階層微細パターニング(生産加工・工作機械1)

Translated title of the contribution: 1005 Multi-level Micro Patterning on Ceramic Surface by a Multi-step Imprint Process

高橋 昌史, 津守 不二夫, 徐 楊, 橋本 聖矢, 姜 賢求, 長田 稔子, 三浦 秀士

Research output: Contribution to journalArticle

Translated title of the contribution1005 Multi-level Micro Patterning on Ceramic Surface by a Multi-step Imprint Process
Original languageJapanese
Pages (from-to)323-324
Number of pages2
Journal日本機械学会九州支部講演論文集
Volume2013
Issue number0
DOIs
Publication statusPublished - 2013

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