Translated title of the contribution | 1005 Multi-level Micro Patterning on Ceramic Surface by a Multi-step Imprint Process |
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Original language | Japanese |
Pages (from-to) | 323-324 |
Number of pages | 2 |
Journal | 日本機械学会九州支部講演論文集 |
Volume | 2013 |
Issue number | 0 |
DOIs | |
Publication status | Published - 2013 |
1005 多段階インプリントプロセスによるセラミックシート表面上への多階層微細パターニング(生産加工・工作機械1)
高橋 昌史, 津守 不二夫, 徐 楊, 橋本 聖矢, 姜 賢求, 長田 稔子, 三浦 秀士
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